技術伝承と発展を支援する ものづくりエンジニア向け技術用語サイト『モノシリ』

製造技術データベースサイト イプロス製造業IPROS

製造業技術用語集

この技術解説を印刷する

RHEED

よみ アールヒード / リード
英 Reflective High-Energy Electron Diffraction
概要 RHEEDとは、Reflective High-Energy Electron Diffractionの略で、薄膜などの表面構造の解析に使用する反射高速電子線回折法のこと。真空中で電子線を試料に対してほぼ水平に入射させ、表面の原子との相互作用により回折された電子線をスクリーンに投影して回折パターンを得る。
RHEED
はそれまでのLEED(低速電子線回折)とは異なり、成膜プロセスのじゃまにならないため、成膜中にその表面を原子レベルで観察・解析できるのが特長である。半導体などの薄膜作製のモニタリングや制御、成長速度の測定などに利用されている。

RHEEDといえばこの会社

掲載方法

画像処理ライブラリ&画像ボードをベースに一般画像解析は元より、動画像、2D・3D、フーリエ位相解析、ガス密度可視化、RH...
RHEEDの会社を探す

この技術用語の意味を理解しよう!

オトナの中学理科講座

【生物】笹の年齢はどこを見る?
  1. 節目
  2. 幹の断面

キーワードリクエスト

製造業技術用語集にて解説を希望する業界用語があれば教えてください。

リクエストする

IPROS 製造業関連情報サーチ

製造業に関する製品・会社が見つかります
検索

お役立ち情報

このページのトップへ