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高純度水素発生装置

よみ コウジュンドスイソハッセイソウチ
英 high-purity hydrogen generator
概要 高純度水素発生装置とは、99.99995%程度の高純度な水素を発生する装置のこと。純水を電気分解して水素(と酸素)を発生するのが一般的な方法で、供給圧力が0.9MPa以下ならば高圧ガス保安法に抵触せずに使え、半導体製造、金属熱処理、燃料電池の開発などに利用できる。純度99.99999%以上の場合には超高純度水素発生装置と呼ぶ。

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