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波面センサ

よみ ハメンセンサ
英 wavefront sensor
概要 波面センサとは、光の波面、すなわち同一位相の形状や強度分布を測定するセンサのこと。特に透過・反射した光の波面の収差(ズレ、乱れ)を測定することで、測定対象物の光学的な評価が行える。従来の干渉計に代替でき、操作が簡単で、振動や塵に強く、幅広い波長に対応し、小型・低価格である。
光学素子(レンズ、フィルタ、プリズム、ミラー、光ピックアップなど)の精度、レーザー光の品質、半導体ウェハの平面度などの検査・試験、調整・品質管理などに使用されている。

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システムLSIを含むASIC全般、高性能IC用ウェーハ・ファンドリー、放送機器用IC、メモリ、セキュリティ(センサー)関...
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