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光学式膜厚計

よみ コウガクシキマクアツケイ
英 optical thickness meter
概要 光学式膜厚計とは、光を用いて非接触で薄膜の厚さを計測する膜厚計の一種。光干渉式(反射率分光法)、エリプソメータ(偏光解析法)などがあり、数10µmからnmオーダの厚さを計測できる。他の方式に比べて、膜の性質を問わない、非接触計測でダメージを与えないなどの特長があり、半導体の製造工程などで使用されている。
非接触タイプの膜厚計は他に、超音波式、磁気式などがある。

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