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マスフローメータ

よみ マスフローメータ
英 mass flowmeter
概要 マスフローメータとは、気体の質量流量を計測する流量計の一種。2つの発熱抵抗体を上流側と下流側に設置し、気流により熱が奪われて生じる抵抗差から計測する、あるいは熱線から奪われる熱量から測定するサーマル式が一般的である。コリオリの原理を用いた方式や、MEMSを搭載したタイプもある。
他の流量計・流量センサとの最大の違いは、気体の圧力や温度の影響を受けない点で、高精度、信頼性が高い、応答性に優れる、などの特長を備える。半導体の製造プロセスや、検査・分析機器、内燃機関の排ガス処理センサなどに用いられる。

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面積式流量計、流体制御バルブ、電子式流量計、各種流体制御装置、 窒素・酸素・オゾンガス発生装置、燃料電池評価装置、脱臭装...
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