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ハレーション

よみ ハレーション
英 halation
概要 ハレーションとは、レンズに向かって強い光が入り、光が飽和した状態で映像に映り込む現象のこと。正確にはフレアゴーストであり、ハレーションは慣用的に用いられてきた用語である。通常はハレーションが生じると、本来の映像が飛んでしまったり、画像処理で判定不良となったりするため、避けなければならない現象である。
一方で、ハレーションを利用する方法もあり、顕微鏡や拡大鏡において反射照明によりハレーションを起こすことで、落射照明では見えにくいワーク表面の微小な段差や傷、汚れなど、より細かい観察が高精細画像で可能になる。ウェハ、ベアチップ、ITO膜など、鏡面状態で見えにくいワークの品質検査に利用できる。

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