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サーマルチャンバ

よみ サーマルチャンバ
英 thermal chamber
概要 サーマルチャンバとは、精密に温度制御を行った空気を発生し、温度精度が必要なエリアに供給する設備を備えた密閉空間のこと。ひとくちに「チャンバ」と言ってもサイズは小箱程度から小部屋までさまざまだが、サーマルチャンバの場合はキャビネットサイズからウォークインできるサイズまでが中心である。

同義語に恒温槽、恒温装置、恒温室があるが、サーマルチャンバクリーンルームに設置して使用するものを指すことが多いため、HEPAフィルターULPAフィルターを装備して内部空間のクリーン度を維持する。湿度の制御が可能なタイプもある。レーザー測長・微細測定器などを中に設置して温度変化の影響を排除した精密な計測を行ったり、ステッパ装置などを設置してフォトマスクや液晶、プリント基板などのプロセス処理に使用されたりする。

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