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ガス配管

よみ ガスハイカン
英 gas piping
概要 ガス配管とは、配管のなかでもガス類(気体)を移送するために用いるものの総称。高純度酸素、高純度窒素などの高純度ガスや、危険性の高い毒性ガス、可燃性ガス、排気ガスなどに使用する。材質は、熱や錆に強いSUS304、SUS316Lなどで、高純度対応として内面を電解研磨・酸化不動態処理したり、腐食性のガス用にコーティングを施したりする。高圧移送を行う際には、曲がりの部分やフィルタとの接合部に圧力が集中しないよう、角度を調節するなどの工夫が必要になる。

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半導体向け高純度ガス供給装置の設計、製造、販売。
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